微导纳米：用硬科技开辟“芯天地”

微导纳米总部外景

　　◎记者 王玉晴

　　走在微导纳米的荣誉墙前，公司首席技术官黎微明特意在一项原子层沉积(ALD)技术的荣誉证书前停下了脚步，向上海证券报记者介绍了这项技术对公司科技创新的重要性。

　　如果说微导纳米的产品体系像是一个星系，位于中心的“太阳”就是原子层沉积这一核心技术。黎微明告诉记者，ALD技术在集成电路行业应用已久，而微导纳米创立时先是将ALD首创应用于光伏行业，然后再进入集成电路行业。现在，光伏和集成电路构成了公司薄膜沉积设备的主要下游市场。而在公司的研究院内，为更多战略性新兴产业孵化的新应用正在“孕育”阶段。

　　“不仅要追赶，更要在追赶中创新。”黎微明表示，身处半导体行业重要发展阶段，微导纳米不仅肩负重大使命，更要追求更高质量发展。

　　ALD技术应用广泛

　　赋能光伏和集成电路产业

　　在微导纳米之前，全球尚未有企业将原子层薄膜沉积技术应用在光伏行业。微导纳米通过自主创新，实现了这一首创性应用，为公司发展奠定基础。

　　今年，光伏电池新技术路线TOPCon以席卷之势成为市场主流。多位行业人士接受记者采访预测，TOPCon在2024年光伏行业的市占率有望从2023年的20%左右跃升至70%至80%。而原主流路线PERC电池的生产商，正紧锣密鼓将有改造潜力的产线升级为TOPCon产能。

　　微导纳米对光伏迭代跟踪紧密，在TOPCon设备市场已占据领先地位。2023年，公司在开发行业内首条GW级PE-Poly TOPCon电池工艺整线的基础上，进一步推出全新的TOPCon 2.0整线工艺技术。把握了新技术的关键首创，微导纳米自然也享受到了新技术的红利。公司ALD产品连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。

　　在大步拓展光伏市场之后，微导纳米又进入原子层沉积技术的另一重要应用领域集成电路行业，开拓出一片“芯天地”。“目前的先进半导体制程以及未来小于2纳米的制程，都需要ALD技术进行镀膜。因为器件结构越小、越三维化，对镀膜的要求越高，而只有ALD技术可以满足集成电路制造最尖端的要求。”黎微明强调了ALD技术对集成电路行业的重要性。

　　微导纳米是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于28纳米节点集成电路制造前道生产线的国产设备厂商，已与国内多家厂商建立了深度合作关系，相关产品涵盖了逻辑、存储、化合物半导体(第三代半导体)、新型显示(硅基OLED)等诸多细分应用领域，多项设备关键指标达到国际先进水平。

　　“ALD其实还有很广阔的应用前景，在锂离子电池、燃料电池、光学器件等具有前瞻性、战略性的行业，我们都正在培育ALD技术应用。”黎微明说，“我们秉持的理念就是‘创新驱动，引领未来’。”

　　不仅追赶 更要创新

　　一家能够做技术原创应用的企业，核心技术人员都要具有过硬的本领。而黎微明在荷兰的半导体公司从事过多年研究工作，参与过ALD技术导入集成电路生产的全过程。

　　1994年，黎微明从赫尔辛基大学硕士毕业后，开启了原子层沉积技术研究生涯。2000年博士毕业后，黎微明迈入原子层沉积技术的产业化应用领域。在延续摩尔定律的大背景下，他任职的公司率先将高介电常数材料引入到半导体行业，对半导体行业发展起到了至关重要的作用。2015年，黎微明从芬兰回国，与几位创始人共同创办了微导纳米。

　　科创企业的成长需要技术带头人，更离不开研发团队、资金投入等综合实力。黎微明告诉记者，目前公司研发人员占比超过总人数的30%，在每一个应用领域内，都有一名研发带头人。2022年，微导纳米研发投入超过1.38亿元，研发投入占营收比例超过20%。

　　“我们经常讲‘兵马未动，粮草先行’，其实装备对具有战略意义的产业是非常重要的。很多行业都是因为装备实现突破，整个行业才有了进一步发展。”黎微明表示，中国企业虽然在集成电路领域处于追赶全球先进技术阶段，但是在追赶的同时，微导纳米更加注重创新突破。人工智能、自动驾驶等新技术将带来巨大的市场，微导纳米已将大量资源投入新兴集成电路市场，以捕捉“芯市场”中的新机遇。

　　在红海中找到蓝海

　　各种场合都要打赢

　　商场如战场，科创板上市公司能够以硬科技立身资本市场，不仅需要技术人员攻坚克难，更离不开管理层的谋篇布局。

　　“一家装备制造商能够发展壮大，首先一定要具有大局观，要立足于国家的战略所需，业务布局要符合时代的节拍和未来产业的规划，助力实现先进制造和先进服务业的深度融合和加强。”微导纳米总经理周仁向记者表示，公司将紧跟国家指引的方向，加快发展新质生产力。

　　周仁特别强调了顺应市场变化的重要性：“我们要洞察市场的变化并及时应对，在红海中找出蓝海，重点开发能够为客户带来价值的创新性、差异性的产品。”

　　在周仁看来，所有的战略落地最关键的还是人。在集聚优秀人才方面，公司坚持“进得来，留得住，上得去”的人才战略。

　　谈及“带兵打仗”，周仁强调：“要在各种场合都能打赢。”

　　“以光伏价格战为例，其实考验的是生存能力。我鼓励团队要在各种场合都能打赢，这样才能把兵练出来。”周仁表示，经过国内光伏设备产业的激烈竞争，公司产品也能够以更强的竞争力走向国际市场。

　　微导纳米最新发布的2023年业绩快报显示，公司2023年营业总收入16.83亿元，同比增长145.82%;归母净利润2.57亿元，同比增长374.47%。

　　“这是公司创新理念、技术和执行力的结果。”周仁表示，公司将努力保持在ALD设备领域国内领先的行业地位，未来将持续加大在存量和增量市场的技术、产品开发力度，增强公司抵御单一市场波动的风险，同时助力中国产业技术走向全球最前沿。